Прецизионный 2-осевой XY позиционер на гранитном основании
Плавность хода и точность движения , а также высокая производительность в самых требовательных применениях промышленности.
Описание XY-160
Высокоточный модуль линейных перемещений с аэростатическими подшипниками, установленный на гранитном основании.
Предназначен для задач микроэлектроники, метрологии и лазерной обработки, требующих микронную точность позиционирования при высоких нагрузках.
Ключевые особенности
Гранитное основание:
массивная поверхность из натурального гранита обеспечивает виброустойчивость и пассивную термостабильность всей системы.
Преднатяг обеспечивается засчет железных магнитных двигателей по всем осям;
Аэростатика:
направляющие XY-позиционера на аэростатических подшипниках гарантируют отсутствие износа и высокую точность перемещения.
Прямой привод с нанометровым разрешением:
высокоточные линейные двигатели с абсолютными оптическими энкодерами СКБ ИС (разрешение 0,1 мкм) для точных позиционирований.
Интеллектуальное управление:
Интеграция с системой HANS Control System.
*столы могут быть оснащены абсолютными линейными энкодерами производства Renishaw, Hiedenhain, СКБ ИС ( производство РФ ) с разрешением от 1 нм.”
XY-160
Ручная коррекция Y:
нижняя платформа на профильных рельсовых направляющих позволяет оператору вручную изменять общее положение позиционера в диапазоне не менее 290 (±145)мм.
Рабочий/Полный ход по оси Y, осуществляемый линейным
двигателем - 160(±80) мм.
Рабочий/Полный ход по оси Х, осуществляемый линейным
двигателем - 160(±80)мм
Применение и индустрии
Микроэлектроника и фотоника:
В составе установок автоматического монтажа кристаллов, микросборки, нанесения дозированных материалов. Конструкция с технологическими вырезами и закладными втулками оптимизирована для встраивания в автоматические линии.
Оптические системы:
Метрология и контроль:
Сканирование, измерение геометрических параметров сложных изделий с высокой точностью. Аэростатика гарантирует отсутствие микро-вибраций при измерительных проходах.
Лазерная обработка:
Высокоточное гравирование, скрайбирование и абляция материалов, где важна чистота и динамика перемещения
Наименование параметра
Описание параметра
Наименование оборудования
Платформа прецизионных перемещений HANS-XY160
Назначение оборудования
Позиционирование в установках монтажа кристаллов, микросборки, метрологии и лазерной обработки
Область применения
Микроэлектроника и фотоника, метрология, лазерная обработка, научные исследования
Интеграция оборудования (опционально)
Автономная работа. Создание и сохранение отчетов на USB-носитель или сервер предприятия
Количество осей перемещения
2
Ход X (Air)
160 мм*
Ход Y (Air)
160 мм*
Тип подшипников X Y
Аэростатические (собственного производства)
Тип двигателей X Y
Линейные, железные **
Тип серводрайвера
Servotronix CDHD2(S)
Прямолинейность
≤ 3 мкм
Ортогональность
≤5 мкм/м
Точность
позиционирования ***
≤ 3 мкм
Плоскостность рабочей зоны
±5 мкм (на всей поверхности стола позиционера)
Повторяемость
≤ 2 мкм
Тип энкодера / датчика
Абсолютный оптический (BiSS С), СКБ ИС
Разрешение энкодера (дискретность обратной связи)
0.05 мкм (50 нм)
Макс. скорость
0.25 м/с
Макс. ускорение
1.5 м/с²
Макс. нагрузка
6.5–15 кг (на позиционер XY)
Блок подготовки воздуха
Опционально
Макс. рабочее давление системы
7 ± 0.5 бар
Система питания (опционально)
~230 В (±10%), 50 Гц, до 1,5 кВт
Габаритные размеры (Д×Ш×В)
≤ 900×800х450 мм
Материал стола XY
Алюминий*
Материал основания
Натуральный гранит
Полезная нагрузка на стол
до 15 кг
Масса стола XY
87 кг
Дополнительные особенности
Ручная коррекция Y (до 290 мм), датчики крайних положений
Условия эксплуатации
Чистая комната с подготовкой среды:
- Температура окружающего колебаниями <0,1°С за 24 часа;
- Относительная влажность не более 50% при +20°С;
- Место установки станка должно находиться как можно дальше от производственных транспортных путей;
Станок не должен подвергаться воздействию местного нагрева и охлаждения
*Опционально
**Опционально безжелезный мотор с U-образными магнитами
***Условия эксплуатации окружающей среды: термоконстантное помещение с температурой 20
«ГАНС»/«HANS»,
Россия,
Москва,
ул. Авиамоторная,
д.55, к1
Телефон:
+7 (495) 147-60-44
Продукция >
Применения & Индустрии >
Компетенции >
О компании >
Связаться с нами >
© 2024 “HANS” Limited liabilyti company. All right reserved.