Высокоточная портальная система линейных перемещений с гранитным основанием и аэростатическими подшипниками. Разработана для использования в составе установок автоматического монтажа кристаллов, метрологического оборудования и других систем, требующих микронной точности позиционирования в составе автоматизированных линий
Описание XYZ750
Высокоточная портальная система линейных перемещений с гранитным основанием и аэростатическими подшипниками. Разработана для использования в составе установок автоматического монтажа кристаллов, метрологического оборудования и других систем, требующих микронной точности позиционирования в составе автоматизированных линий.

Ключевые особенности
Портальная конструкция «Гантри»:
Станина, колонны и траверса из натурального гранита обеспечивают виброустойчивость и термическую стабильность, являясь фундаментом высокой точности.
Аэростатика собственного производства:
Направляющие на пористых аэростатических подшипниках осей X и Y гарантируют отсутствие износа, механики и высокую чистоту перемещения.
Прямой привод:
Высокодинамичные линейные серводвигатели Servotronix для быстрых и точных позиционирований, интегрированные в гранитное основание.
Абсолютная обратная связь:
Прецизионные линейные энкодеры с интерфейсом BiSS-С и дискретностью 0.05 мкм для замкнутого управления по всем осям.
Технологичность:
Конструкция предусматривает удобный вывод кабелей и пневмолиний, а также сетку резьбовых отверстий М6 для быстрой смены оснастки.




Особенность XYZ750
Главная особенность XYZ750 — применение аэростатических подшипников из пористого материала собственной разработки и производства для осей X и Y. Воздушный зазор в несколько микрон полностью исключает механический контакт между подвижными частями.
Это обеспечивает:
- Абсолютную плавность хода и полное отсутствие механического контакта.
- Высочайшую геометрическую точность перемещения и ортогональность осей не хуже 5 мкм/м.
- Технологически неограниченный ресурс работы оборудования.
- Возможность работы в условиях чистых помещений.
Перемещение по осям X и Y осуществляется с помощью высокоэффективных линейных серводвигателей, которые обеспечивают высокие скорости до 0,5 м/с и ускорения без люфтов и упругостей, присущих механическим передачам. Ось Z построена на базе прецизионной ШВП и сервомотора, что обеспечивает жесткость и точность вертикального позиционирования инструмента.
Применение и индустрии
Микроэлектроника:
В составе установок автоматического монтажа кристаллов, микросборки, нанесения дозированных материалов. Конструкция с технологическими вырезами и закладными втулками оптимизирована для встраивания в автоматические линии.
Метрология и контроль:
Сканирование, измерение геометрических параметров сложных изделий с высокой точностью. Аэростатика гарантирует отсутствие микро-вибраций при измерительных проходах.
Лазерная обработка:
Высокоточное гравирование, скрайбирование и абляция материалов, где важна чистота и динамика перемещения

Наименование параметра
Описание параметра
Наименование оборудования
Платформа прецизионных перемещений HANS-XYZ750
Назначение оборудования
Позиционирование в установках монтажа кристаллов, микросборки, метрологии и лазерной обработки
Область применения
Микроэлектроника (монтаж кристаллов), метрология и контроль, лазерная обработка
Количество осей перемещения
3
Ход X (Air)
750 мм
Ход Y (Air)
350 мм
Ход Z (Air)
100 мм
Тип подшипников X Y
Аэростатические (собственного производства)
Тип подшипников Z
Механические (шариковые линейные направляющие)
Тип двигателей X Y
Линейные двигатели
Тип двигателей Z
Серводвигатель (Hiwin) и прецизионная ШВП
Тип серводрайвера
Servotronix CDHD2
Прямолинейность
≤ 3 мкм
Ортогональность
≤5 мкм/м
Точность позиционирования
≤ 2 мкм
Плоскостность рабочей зоны
±3 мкм (на всей поверхности стола позиционера)
Повторяемость
≤ 2 мкм
Тип энкодера / датчика
Абсолютный оптический (BISS С), СКБ ИС
Разрешение энкодера (дискретность обратной связи)
0.01 мкм
Макс. скорость
0.5 м/с (X/Y)
Макс. ускорение
1.0 м/с² (X/Y)
Макс. нагрузка
≤ 5 кг (на ось Z)
Блок подготовки воздуха
Опционально
Макс. рабочее давление системы
7 ± 0.5 бар
Система питания (опционально)
~230 В (±10%), 50 Гц, до 3,5 кВт
Габаритные размеры
(Д×Ш×В) ≤ 1300 × 850 × 850 мм
Вес
≤ 810 кг
Дополнительные особенности
Сетка резьбовых отверстий М6 на рабочем столе
Условия эксплуатации
Чистая комната с подготовкой среды: Температура окружающего воздуха +20°С с колебаниями <0,1°С за 24 часа;
Относительная влажность не более 50% при +20°С;
Место установки станка должно находиться как можно дальше от производственных транспортных путей;
Станок не должен подвергаться воздействию местного нагрева и охлаждения
«ГАНС»/«HANS»,
Россия,
Москва,
ул. Авиамоторная,
д.55, к1
Телефон:
+7 (495) 147-60-44
Продукция >
Применения & Индустрии >
Компетенции >
О компании >
Связаться с нами >
© 2024 “HANS” Limited liabilyti company. All right reserved.