Платформа прецизионных перемещений
Описание XY500
Высокоточная портальная платформа с аэростатическими подшипниками и поддержкой протоколов промышленной автоматизации. Разрабатывается специально для интеграции в автоматические зондовые установки для тестирования интегральных схем и полупроводниковых приборов на пластинах.
Ключевые особенности
Портальная H-образная конструкция «Гантри»:
Станина из цельного натурального гранита обеспечивает виброустойчивость, термостабильность и жесткость, необходимую для работы с полезной нагрузкой до 85 кг.
Аэростатика собственного производства:
Направляющие на пористых аэростатических подшипниках гарантируют отсутствие износа, механики и высокую чистоту перемещения, что критически важно для чистых помещений.
Прямой привод:
Высокодинамичные линейные U-образные двигатели Servotronix (или аналоги) для быстрых и точных позиционирований без люфтов.
Прецизионная обратная связь:
Абсолютные линейные энкодеры (стандарт BiSS-C) с дискретностью от 0,001 мкм.
Интеграция в автоматизированные системы:
Поддержка промышленного протокола EtherCAT® через сервопреобразователи, что обеспечивает легкую интеграцию в общую систему управления установкой.
Неограниченный срок службы:
Отсутствие механического контакта в направляющих исключает трение и износ.
Главная особенность XY500
Главная особенность XY500 — применение аэростатических подшипников с использованием пористого материала собственной разработки и производства. Воздушный зазор в несколько микрон полностью исключает механический контакт между подвижными частями.
Это обеспечивает:
Абсолютную плавность хода и полное отсутствие механического контакта.
Высочайшую геометрическую точность перемещения и ортогональность осей не хуже 5 мкм/м.
Технологически неограниченный ресурс работы оборудования.
Возможность работы в условиях чистых помещений.
Перемещение осуществляется с помощью высокоэффективных линейных синхронных двигателей, которые обеспечивают высокие ускорения (до 1 м/с²) и скорости позиционирования без люфтов и упругостей, присущих механическим передачам. Пустотелая конструкция каретки оси X позволяет оптимально разместить привод, энкодер и опорные элементы.
Применение и индустрии
Зондовый контроль полупроводниковых пластин:
Является ключевым модулем перемещения для автоматических зондовых установок. Обеспечивает точное позиционирование каждой структуры на пластине под измерительной оснасткой для инспекции и тестирования продукции микроэлектроники.
Микроэлектроника и сборка:
Может применяться в установках прецизионной сборки, где требуется высокая точность и усилие контакта.
Метрология и контроль:
Сканирование, измерение геометрических параметров сложных изделий с высокой точностью. Платформа легко встраивается в автоматические линии контроля.
Наименование параметра
Описание параметра
Наименование оборудования
Платформа прецизионных перемещений HANS-XY500
Назначение оборудования
Высокоточное позиционирование модуля держателя полупроводниковых пластин (ДПП) в зондовых установках
Область применения
Зондовый контроль полупроводниковых пластин, микроэлектроника, прецизионная сборка, метрология
Интеграция оборудования (опционально)
Автономная работа. Создание и сохранение отчетов на USB-носитель или сервер предприятия
Количество осей перемещения
2
Ход X (Air)
350 мм
Ход Y (Air)
500 мм
Тип подшипников X Y
Аэростатические (собственного производства)
Тип двигателей X Y
Линейные двигатели
Тип серводрайвера
Servotronix CDHD2
Прямолинейность
≤ 3 мкм
Ортогональность
≤5 мкм/м
Точность
позиционирования ***
≤ 3 мкм
Плоскостность рабочей зоны
±3 мкм (на всей поверхности стола позиционера)
Повторяемость
≤ 2 мкм
Тип энкодера / датчика
Абсолютный оптический (BiSS С), СКБ ИС
Разрешение энкодера (дискретность обратной связи)
0.01 мкм
Макс. скорость
0.25 м/с
Макс. ускорение
≥ 1 м/с²
Макс. нагрузка
85 / 76 кг (статика/динамика на каретку X)
Блок подготовки воздуха
Опционально
Макс. рабочее давление системы
7 ± 0.5 бар
Система питания (опционально)
~230 В (±10%), 50 Гц, до 3,5 кВт
Габаритные размеры (Д×Ш×В)
≤ 1445 x 1415 x 600 мм
Вес
≤ 2600 кг
Условия эксплуатации
Чистая комната с подготовкой среды:
Температура окружающего воздуха +20°С с колебаниями <0,1°С за 24 часа;
Относительная влажность не более 50% при +20°С;
Место установки станка должно находиться как можно дальше от производственных транспортных
путей;
Станок не должен подвергаться воздействию местного нагрева и охлаждения;
«ГАНС»/«HANS»,
Россия,
Москва,
ул. Авиамоторная,
д.55, к1
Телефон:
+7 (495) 147-60-44
Продукция >
Применения & Индустрии >
Компетенции >
О компании >
Связаться с нами >
© 2024 “HANS” Limited liabilyti company. All right reserved.